顯然,壓力傳感器在汽車上有廣闊的發展前景。 壓力傳感器可以廣義地分為三類:壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。 下面,本文將先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理,再介紹應用于汽車的MEMS技術智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。 壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件,它是基于壓阻效應工作的。 所謂壓阻元件實際上就是指在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻,當它受外力作用時,其阻值由于電阻率的變化而改變。 擴散電阻正常工作時需依附于彈性元件,常用的是單晶硅膜片。 壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結構,封裝在外殼內。 在一塊圓形的單晶硅膜片上,布置四個擴散電阻,兩片位于受壓應力區,另外兩片位于受拉應力區,它們組成一個全橋測量電路。